例举并描述光刻中使用的两种曝光光源。

题目
问答题
例举并描述光刻中使用的两种曝光光源。
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相似问题和答案

第1题:

例举并描述硅片拣选测试中的三种典型电学测试。


正确答案:硅片拣选测试中的三种典型电学测试:
(1)DC测试:第一电学测试是确保探针和压焊点之间良好电学接触的连接性检查。这项检查保证了技术员的测试仪安装正常。
(2)输出检查:硅片挑选测试用来测试输出信号以检验芯片性能。主要验证输出显示的位电平(逻辑“1”或高电平,逻辑“0”或低电平),是否和预期的一致。
(3)功能测试:功能测试检验芯片是否按照产品数据规范的要求工作。功能测试软件程序测试芯片的所有方面,它将二进制测试图形加入被测器件并验证其输出的正确性。

第2题:

在深紫外曝光中,需要使用()光刻胶。

  • A、DQN
  • B、CA
  • C、ARC
  • D、PMMA

正确答案:A

第3题:

例举并描述薄膜生长的三个阶段。


正确答案:(1)晶核形成
分离的小膜层形成于衬底表面,是薄膜进一步生长的基础。
(2)凝聚成束
形成(Si)岛,且岛不断长大
(3)连续成膜
岛束汇合并形成固态的连续的薄膜 淀积的薄膜可以是单晶(如外延层)、多晶(多晶硅栅)和无定形(隔离介质,金属膜)的

第4题:

例举出两种光刻胶显影方法。例举出7种光刻胶显影参数。


正确答案:连续喷雾显影、旋覆浸没显影。
显影温度,显影时间,显影液量,硅片洗盘,当量浓度,清洗,排风。

第5题:

试分析在背沟道阻挡结构的第二次光刻中,采用了背曝光为什么还要采用一次曝光?直接使用一次曝光不行吗?


正确答案:背曝光是一种自对准的光刻工艺,不需要掩膜版,利用栅线和栅极的金属图形做掩膜进行曝光的工艺。栅线、栅极、存储电容等有金属薄膜的地方上面的光刻胶都没有曝光,其他没有遮挡的地方都被背曝光的紫外光照到,光刻胶的性质发生改变。需要再用一次曝光,利用掩膜版掩膜把栅线和存储电容上面的光刻胶被一次曝光的紫外光照射到,留下阻挡层图像。
为了形成精确对准且能够恰好在栅极上面的i/sSiNx阻挡层小图形,采用连续两次曝光,先背面曝光再一次曝光相结合的光刻工艺。仅采用一次曝光,对版精度和图形的大小都要受到限制,工艺难度大。

第6题:

例举并描述金属用于硅片制造的7种要求。


正确答案:金属用于硅片制造的七个要求:
1.导电率:为维持电性能的完整性,必须具有高电导率,能够传导高电流密度。
2.粘附性:能够粘附下层衬底,容易与外电路实现电连接。与半导体和金属表面连接时接触电阻低。
3.淀积:易于淀积并经相对的低温处理后具有均匀的结构和组分(对于合金)。能够为大马士革金属化工艺淀积具有高深宽比的间隙。
4.刻印图形/平坦化:为刻蚀过程中不刻蚀下层介质的传统铝金属化工艺提供具有高分辨率的光刻图形;大马士革金属化易于平坦化。
5.可靠性:为了在处理和应用过程中经受住温度循环变化,金属应相对柔软且有较好的延展性。
6.抗腐蚀性:很好的抗腐蚀性,在层与层之间以及下层器件区具有最小的化学反应。
7.应力:很好的抗机械应力特性以便减少硅片的扭曲和材料失效,比如断裂、空洞的形成和应力诱导腐蚀。

第7题:

在深紫外曝光中,需要使用CA光刻胶,它的优点在于()。

  • A、CA光刻胶对深紫外光吸收小
  • B、CA光刻胶将吸收的光子能量发生化学转化
  • C、CA光刻胶在显影液中的可溶性强
  • D、有较高的光敏度
  • E、有较高的对比度

正确答案:A,B,C,D,E

第8题:

例举并描述IC生产过程中的5种不同电学测试。


正确答案:IC生产过程中的5种不同电学测试:
(1)IC设计验证:描述、调试和检验新的芯片设计,保证符合规格要求,是在生产前进行的。
(2)在线参数测试:为了监控工艺,在制作过程的早期(前端)进行的产品工艺检验测试。在硅片制造过程中进行。
(3)硅片拣选测试(探针):产品功能测试,验证每一个芯片是否符合产品规格。在硅片制造后进行。
(4)可靠性:集成电路加电并在高温下测试,以发现早期失效(有时候,也在在线参数测试中进行硅片级的可靠性测试)。在封装的IC进行。
(5)终测:使用产品规格进行的产品功能测试。在封装的IC进行。

第9题:

光刻加工的工艺过程为()

  • A、①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗
  • B、①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散
  • C、①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原

正确答案:B

第10题:

例举并描述光刻中使用的两种曝光光源。


正确答案:汞灯,高压汞灯,电流通过装有氙汞气体的管子产生电弧放电,这个电弧发射出一个特征光谱,包括240纳米到500纳米之间有用的紫外辐射准分子激光,准分子是不稳定分子 是有惰性气体原子和卤素构成 只存在与准稳定激发态。