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光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）A、电子束曝光技术B、离子束曝光技术C、X射线曝光技术

题目

光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）

  • A、电子束曝光技术
  • B、离子束曝光技术
  • C、X射线曝光技术
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