第1题:
根据原理分类,干法刻蚀分成几种?各有什么特点?
第2题:
不可以对SiO2进行干法刻蚀所使用的气体是()。
第3题:
简述干法刻蚀的物理作用和化学作用。
第4题:
a.离子束刻蚀、激光刻蚀
b.干法刻蚀、湿法刻蚀
c.溅射加工、直写加工
第5题:
简述应用图像命令的应用步骤?
第6题:
在干法刻蚀的终点检测方法中,光学放射频谱分析法最常见,简述其工作原理和优缺点。
第7题:
微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种()。
第8题:
干法刻蚀的目的是什么?例举干法刻蚀同湿法刻蚀相比具有的优点。干法刻蚀的不足之处是什么?
第9题:
第10题:
对
错