问答题为什么多晶硅的干法刻蚀要采用氯基气体而不是氟基气体？

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为什么多晶硅的干法刻蚀要采用氯基气体而不是氟基气体？

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第1题：

下列可以增大化合物脂溶性的基团是

A、烃基

B、氟原子

C、氯原子

D、羟基

E、磺酸基

参考答案：A

第2题：

做氧指数试验的混合气体是（）

A、氢氧混合气体
B、氮氧混合气体
C、氯氧混合气体
D、氟氧混合气体

正确答案:B

第3题：

()是指用含氟、氯、溴的化学灭火剂喷向火焰,让灭火剂参与燃烧反应,并在反应中使氢游离基与氟、氯、溴离子相结合,而中断氢游离基与氧的反应链,抑制燃烧过程,使火迅速熄灭。

A、隔绝法

B、窒息法

C、冷却法

D、化学控制法

参考答案：D

第4题：

客房部员工不可用氨水与氯基，氟基或者溴基化学去污剂混合使用，一旦混合会产生强烈的毒气。

正确答案:正确

第5题：

co2气体保护焊为什么要采用平硬和缓降特性的焊接电源？

正确答案:在等速送丝的条件下，因为焊接时电流密度较大，co2气体对电弧又有较强的冷却作用，所以静特性曲线是上升的，焊接电弧自身的调节灵敏度高，又保障焊接电弧依靠弧长的变化使电弧稳定地燃烧。这种电弧自身调节灵敏度，具有平硬特性的电源较高，具有缓降特性的电源次之，具有陡降的电源最差。所以，co2气体保护焊通常采用平硬和缓特性的电源。

第6题：

（）是指高度电离的气体云，是气体在加热或强电磁场的作用下电离而产生的，主要有电子、原子、分子、活性自由基及射线等。其中活性自由基及射线对微生物具有很’强的杀灭作用。

正确答案:等离子体

第7题：

为什么蓄热室内的废气（高温气体）要自上而下流动，而空气（低温气体）要自下向上流动？

正确答案:这样的流型符合流体力学中“分散垂直气流法则”（或称“气流分流法则”）之原理。其目：使蓄热室内格子体各个通道内的气流量及温度自然地保持均匀。

第8题：

要增大其脂溶性，在药物分子中可引入的基团有（）。

A．烃基

B．氟原子

C．氯原子

D．羟基

E．磺酸基

正确答案：ABC
解析：本题考查药物理化性质和药效的关系。

第9题：

破坏高空臭氧层的气体是（）

A、干冰
B、液氮
C、液氯
D、氟氯烃

正确答案:D

第10题：

为什么在热力计算中要采用收到基的低位热值？

正确答案:在热力计算中必须使用以收到基为基准的低位热值的原因是：进入炉膛内燃烧的煤是原始形态的煤，包括有全水分。燃烧产物（烟气）的温度较高，水分呈蒸汽状态，消耗了一部分热量，而热力计算只能按实际情况使用有效利用的热量。因此，在热力计算中要采用收到基的低位热值。

为什么多晶硅的干法刻蚀要采用氯基气体而不是氟基气体？

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