为什么0.25微米以下工艺的干法刻蚀需要高密度等离子体?

题目
问答题
为什么0.25微米以下工艺的干法刻蚀需要高密度等离子体?
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相似问题和答案

第1题:

吸入气雾剂的微粒大小应在范围内最适宜

A.0.25~2.5微米
B.0.5~5微米
C.0.75~7.5微米
D.小于1微米
E.大于10微米

答案:B
解析:
通长吸入气雾剂的微粒大小以在0.5~5微米范围内最适宜。《中国药典》2015年版规定吸入气雾剂的微粒或药物微粒的细度应控制在10微米以下,大多数应小于5微米。所以答案为B。

第2题:

干法刻蚀的目的是什么?例举干法刻蚀同湿法刻蚀相比具有的优点。干法刻蚀的不足之处是什么?


正确答案:干法刻蚀的主要目的是完整地把掩膜图形复制到硅片表面上。
干法刻蚀的优点:
1.刻蚀剖面是各向异性,具有非常好的侧壁剖面控制
2.好的CD控制
3.最小的光刻胶脱落或粘附问题
4.好的片内、片间、批次间的刻蚀均匀性
5.较低的化学制品使用和处理费用
缺点:对层材料的差的刻蚀选择比、等离子体带来的器件损伤和昂贵的设备

第3题:

PM2.5是空气中直径小于或等于()的可吸入颗粒物。

A25微米

B0.25微米

C0.25毫米

D2.5微米


答案D

第4题:

为什么需要对工艺方案及工艺装备方案进行技术经济分析?


正确答案: 工艺方案分析是指对项目工艺方案的经济合理性、技术先进性、技术适用性和安全性以及对于项目运行主体的影响,和它与项目运行主体已有各种条件的匹配程度等诸多涉及项目运行的因素和特性的专项分析和评估。通过对于项目工艺方案的分析,人们能够更好地作出项目工艺方案的选择,能够更有效地保证项目产品生产的各项要求,同时还可以实现降低项目产品成本和更好地保护项目运行环境条件等目标。
在对工艺方案进行技术经济分析时已经将工艺装备的因素考虑在内,但在设计工艺方案的过程中,往往还要单独考虑采用工艺装备的经济性。以夹具为例,夹具属于工装的一种,不仅仅是焊装用,在机加工方面也有用,许多时候,需要装配几个部件并保证其定位准确的时候就需要夹具。

第5题:

飘尘的直径在()

  • A、100微米以下
  • B、10微米以下
  • C、5微米以下
  • D、1微米以下
  • E、0.4微米以下

正确答案:B

第6题:

()微米颗粒的淤浆催化剂一般用于生产高密度树脂。


正确答案:25

第7题:

除尘器的中净化标准()。

  • A、捕集粉尘粒径100微米上
  • B、10~100微米
  • C、10微米以下
  • D、150微米以上

正确答案:B

第8题:

飘尘的直径在( )

A.100微米以下
B.10微米以下
C.5微米以下
D.1微米以下
E.0.4微米以下

答案:C
解析:

第9题:

通常所说的CPU制造工艺“XX微米”值越大越好。


正确答案:错误

第10题:

以下电化铝的片基规格那个不是常用的()

  • A、12微米
  • B、16微米
  • C、20微米
  • D、22微米

正确答案:D