问答题简述湿法腐蚀相比干法刻蚀的优点

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简述湿法腐蚀相比干法刻蚀的优点

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第1题：

简述麦芽湿法粉碎及其优点？

正确答案: 麦芽在预浸槽中用温水（20～60℃）浸泡10～20min；使麦芽含水量达到25％～35％左右；然后对麦芽带水进行粉碎，同时加水调浆；用醪泵送入糖化锅。
麦芽湿法粉碎的优点在于：谷皮破而不碎，可缩短过滤时问20％；浸出物收率较干法粉碎提高0.7％，可提高溶解不良麦芽的浸出物收率；若放弃浸泡水，可降低麦汁色度，改善风味。

第2题：

腐蚀V形槽一般采用（）的湿法化学腐蚀方法。

正确答案:各向异性

第3题：

简述干法刻蚀的物理作用和化学作用。

正确答案:物理作用的刻蚀类似于溅射成膜的原理，利用惰性气体的辉光放电产生带正电的离子，在电场作用下加速吸引到下电极上面的基板上，轰击刻蚀薄膜的表面，将薄膜原子轰击出来的过程。常用的惰性气体有氦气（He）、氩气（Ar）等。作用过程完全利用物理上能量的转移进行的，具有很强的刻蚀方向性，可以获得高的各向异性刻蚀断面，线宽控制非常好。
化学作用的刻蚀是一种纯粹的化学反应，利用各种源如射频、微波等，将气体电离产生化学活性极强的原子团、分子团等，扩散到刻蚀薄膜的表面与薄膜发生化学反应，生产易挥发的反应生成物，由真空泵抽离真空反应室。由于只有化学反应发生称之为化学反应刻蚀，类似于湿法刻蚀。只是反应物和生成物都是气态的，且由反应物的等离子体决定刻蚀速率。

第4题：

微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。

A、干法刻蚀、湿法刻蚀
B、离子束刻蚀、激光刻蚀
C、溅射加工、直写加工
D、以上都可以

正确答案:A

第5题：

湿法脱硫的优点有哪些？

正确答案: （1）脱硫剂为液体，便于输送；
（2）脱硫液易再生并能回收硫磺，构成脱硫循环系统，实现连续操作。
（3）吸收速率快，生产能力大，便于储存。

第6题：

干法刻蚀的目的是什么？例举干法刻蚀同湿法刻蚀相比具有的优点。干法刻蚀的不足之处是什么？

正确答案:干法刻蚀的主要目的是完整地把掩膜图形复制到硅片表面上。
干法刻蚀的优点：
1.刻蚀剖面是各向异性，具有非常好的侧壁剖面控制
2.好的CD控制
3.最小的光刻胶脱落或粘附问题
4.好的片内、片间、批次间的刻蚀均匀性
5.较低的化学制品使用和处理费用
缺点：对层材料的差的刻蚀选择比、等离子体带来的器件损伤和昂贵的设备

第7题：

简述光缆相比电缆通信的优点

正确答案: 光缆比电缆具有更大的传输容量、传输距离长、体积小、重量轻、无电磁干扰。

第8题：

湿法效应启动与无效应启动相比的优点是（）。

A、启动时间短
B、能在短时间内提高槽温，加热电解槽内衬
C、无优点

正确答案:A,B

第9题：

简述冷轧跟热轧的相比较的优点。

正确答案: 冷轧不存在温降和温度不均的毛病，因而可以生产很薄、尺寸公差很严和长度很大的板卷；
在热轧过程中，钢板表面被氧化，也不能完全避免由氧化铁皮造成的表面质量不良，而冷轧板带表面光洁度高，还可以根据要求赋予各种特殊表面；
性能好、品种多、用途广。冷轧钢板通过一定的冷轧变形程度与冷轧后的热处理恰当的配合，可以在比较宽的范围内满足用户的要求。

第10题：

湿法脱硫的优点是（）。

正确答案:脱硫效果好、成本低。

简述湿法腐蚀相比干法刻蚀的优点

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