问答题简述刻蚀的概念、工艺目的、分类、应用。

题目

问答题

简述刻蚀的概念、工艺目的、分类、应用。

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相似问题和答案

第1题：

刻蚀工艺有哪两种类型？简单描述各类刻蚀工艺。

正确答案:刻蚀工艺：干法刻蚀和湿法刻蚀。
干法刻蚀是把硅片表面曝露于气态中产生的等离子体，等离子体通过光刻胶中开出的窗口，与硅片发生物理或化学反应（或这两种反应），从而去掉曝露的表面材料，一般用于亚微米尺寸。
湿法刻蚀中，液体化学试剂（如酸、碱和溶剂等）以化学方式去除硅片表面的材料，一般用于尺寸较大的情况下（大于3微米）。

第2题：

简述热处理工艺中的正火、退火、淬火、回火的定义、目的及应用。

正确答案: 1正火是将钢加热到Ac₃或Acm以上约30-50℃，或者更高的温度，保温足够时间，然后在静止空气中冷却的热处理工艺，得到的显微组织为珠光体。
正火的目的：
⑴对于大锻件、截面较大的钢材、铸件，用正火来细化晶粒，均匀组织。如消除魏氏组织或带状组织，为下一步淬火处理做好组织准备，它相当于退火的效果。
⑵低碳钢退火后硬度太低，切削加工中易粘刀，光洁度较差。改用正火，可提高硬度，改善切削加工性。
⑶可作为某些中碳钢或中碳低合金钢工件的最终热处理，以代替调质处理，具有一定的综合力学性能。
⑷用于过共析钢，可以消除网状碳化物，便于球化退火
正火的用途：
正火操作方便、成本较低、生产周期短、生产效率高，主要用于改善低碳非合金钢（低碳钢）的切削加工性能，消除中碳非合金钢的热加工缺陷，消除过共析钢的网状碳化物，也可用于某些低温化学热处理件的预处理及某些结构钢的最终热处理。
2将钢加热到临界点Ac₁以上或以下的一定温度，保温一定时间，然后缓慢冷却，以获得接近平衡状态的组织，这种热处理工艺称为退火。
退火的目的是：
⑴消除钢锭的成分偏析，使成分均匀化。
⑵消除铸、锻件存在的魏氏组织或带状组织，细化晶粒和均匀组织。
⑶降低硬度，提高塑性，改善组织，以便于切削加工和冷变形加工。
⑷改善高碳钢中碳化物形态和分布，为淬火做好准备
⑸消除组织遗传，淬火过热组织。
⑹消除零件的加工应力，稳定零件尺寸。
⑺脱除氢气，消除白点。
3将钢加热到临界点Ac₁或Ac₃以上的一定温度，保温一段时间，然后在水或油等冷却介质中快速冷却，这种热处理工艺称为淬火。
淬火的主要目的，是把奥氏体化工件淬成马氏体，以便在适当温度回火，获得所需要的力学性能。
4回火是将淬火后的钢在A₁温度下加热，使之转变成稳定的回火组织的工艺过程。此过程不仅保证组织转变，而且要消除内应力，故应有足够的保温时间
回火的目的就是消除应力、稳定组织、调整性能。

第3题：

分别写出刻蚀及去PSG的工艺控制流程？

正确答案:刻蚀的流程：预抽，主抽，送气，辉光，清洗，预抽，主抽，充气
去PSG的流程：酸洗（HF），溢流水洗，喷淋，甩干

第4题：

微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。

正确答案:超微机械加工；封接技术；分子装配技术

第5题：

光刻和刻蚀的目的是什么？

正确答案:光刻的目的是将电路图形转移到覆盖于硅片表面的光刻胶上，而刻蚀的目的是在硅片上无光刻胶保护的地方留下永久的图形。即将图形转移到硅片表面。

第6题：

简述房地产估价目的的概念及其分类？

正确答案: 目的：是指一个房地产估价项目的估价结果的期望用途。
分类：土地使用权出让（招标，拍卖，挂牌，协议）、房地产转让（买卖，交换，赠与，以房地产作价入股，以房地产抵债）、租赁、抵押、典当、征收征用补偿、课税、保险、损害赔偿、纠纷调处、司法鉴定、企业对外投资、合资、合作、合并、分立、改制、资产重组、资产置换、买卖、托管经营、清算、设立公司时以房地产作价出资、房地产估价纠纷调处中的房地产估价复核或鉴定。

第7题：

微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。

A、干法刻蚀、湿法刻蚀
B、离子束刻蚀、激光刻蚀
C、溅射加工、直写加工
D、以上都可以

正确答案:A

第8题：

干法刻蚀的目的是什么？例举干法刻蚀同湿法刻蚀相比具有的优点。干法刻蚀的不足之处是什么？

正确答案:干法刻蚀的主要目的是完整地把掩膜图形复制到硅片表面上。
干法刻蚀的优点：
1.刻蚀剖面是各向异性，具有非常好的侧壁剖面控制
2.好的CD控制
3.最小的光刻胶脱落或粘附问题
4.好的片内、片间、批次间的刻蚀均匀性
5.较低的化学制品使用和处理费用
缺点：对层材料的差的刻蚀选择比、等离子体带来的器件损伤和昂贵的设备

第9题：

在集成电路工艺中，光复制图形和材料刻蚀相结合的工艺技术是（）。

A、刻蚀
B、氧化
C、淀积
D、光刻

正确答案:D

第10题：

单选题

微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。

a.离子束刻蚀、激光刻蚀

b.干法刻蚀、湿法刻蚀

c.溅射加工、直写加工

正确答案： A

解析：暂无解析

简述刻蚀的概念、工艺目的、分类、应用。

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