对
错
第1题:
干法刻蚀的目的是什么?例举干法刻蚀同湿法刻蚀相比具有的优点。干法刻蚀的不足之处是什么?
第2题:
微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种()。
第3题:
铜与氯形成的化合物挥发能力不好,因而铜的刻蚀无法以化学反应来进行,而必须施以()。
第4题:
对
错
第5题:
第6题:
根据原理分类,干法刻蚀分成几种?各有什么特点?
第7题:
由于干法刻蚀中是同时对晶片上的光刻胶及裸露出来的薄膜进行刻蚀的,所以其()就比以化学反应的方式进行刻蚀的湿法还来得差。
第8题:
简述干法刻蚀的物理作用和化学作用。
第9题:
a.离子束刻蚀、激光刻蚀
b.干法刻蚀、湿法刻蚀
c.溅射加工、直写加工
第10题: