第1题：
将预先制好的掩膜直接和涂有光致抗蚀剂的晶片表面接触，再用紫外光照射来进行曝光的方法，称为（）曝光。
第2题：
按曝光的光源分类，曝光可以分为（）。
第3题：
第4题：
X线电影摄影装置的曝光方式不包括（）
第5题：
光刻加工的工艺过程为（）
第6题：
下列有关曝光系统的说法正确的是（）。
第7题：
照相机的图标式自动曝光是一种（）。
第8题：
根据曝光方式的不同，光学光刻机可以分成几类？各有什么优缺点？
第9题：
DEP是（）优先式自动曝光模式。
第10题：
光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）