第1题：
热退火用于消除离子注入造成的损伤，温度要低于杂质热扩散的温度，然而，杂质纵向分布仍会出现高斯展宽与拖尾现象，解释其原因。
第2题：
离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。
第3题：
离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。
第4题：
什么叫离子注入，它的特点是什么？
叫离子注入。其特点是深度浅，而在使用中，注入元素仍能继续向里迁移。由于注
入时工件温度低，故不改变基体性能及表面粗糙度。注入时，注入能量及注入深度
能准确控制，注入层结合力强，无剥落现象。
叫离子注入。其特点是深度浅，而在使用中，注入元素仍能继续向里迁移。由于注
入时工件温度低，故不改变基体性能及表面粗糙度。注入时，注入能量及注入深度
能准确控制，注入层结合力强，无剥落现象。
第5题：
在实际工作中，常常需要知道离子注入层内损伤量按（）的分布情况。
第6题：
离子注入前一般需要先生长氧化层，其目的是什么？
第7题：
离子注入后为什么要进行退火？
第8题：
什么是离子注入中常发生的沟道效应（Channeling）和临界角？怎样避免沟道效应？
第9题：
离子注入
第10题：