离子注入会将原子撞击出晶格结构而损伤硅片晶格,高温退火过程能使硅片中的损伤部分或绝大部分得到消除,掺入的杂质也能得到一定

题目
判断题
离子注入会将原子撞击出晶格结构而损伤硅片晶格,高温退火过程能使硅片中的损伤部分或绝大部分得到消除,掺入的杂质也能得到一定比例的电激活。
A

B

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第1题:

外来原子进入晶格就成为晶体中的杂质原子,杂质原子既可以进入间隙位,也可以取代原有原子进入正常结点位置。


正确答案:正确

第2题:

在晶格内仍能表示晶格特征的最基本*部分称为单位晶格或称()所以()在空间做有规律的重复排列就是晶格


正确答案:晶胞;晶胞

第3题:

金属的原子按一定方式有规则地排列成一定空间几何形状的结晶格子,称为晶格。

A

B



第4题:

金属的原子按一定方式有规则地排列成一定空间几何形状的结晶格子,称为晶格。


正确答案:正确

第5题:

由于α-Fe是体心立方晶格,晶格原子之间的间隙较小,所以碳的溶解度也较小。


正确答案:正确

第6题:

热退火用于消除离子注入造成的损伤,温度要低于杂质热扩散的温度,然而,杂质纵向分布仍会出现高斯展宽与拖尾现象,解释其原因。


正确答案: 离子注入后会对晶格造成简单晶格损伤和非晶层形成;损伤晶体空位密度大于非损伤晶体,且存在大量间隙原子和其他缺陷,使扩散系数增大,扩散效应增强;故,虽然热退火温度低于热扩散温度,但杂质的扩散也是非常明显的,出现高斯展宽与拖尾现象。

第7题:

常见的晶格点缺陷是“晶格空位”和间隙原子。


正确答案:正确

第8题:

高碳马氏体的()%碳原子偏聚在立方晶格的一轴,而()%碳原子集中在另二轴上,其结果形成的马氏体为()晶格。


正确答案:80%,20%,正方

第9题:

晶界处的晶格不规则,原子排列不整齐,并常有其他杂质原子聚集,故晶界处的强度较高,塑性较低。


正确答案:正确

第10题:

对于浓度覆盖很宽的杂质原子,可以采用()方法引入到硅片中。

  • A、离子注入
  • B、溅射
  • C、淀积
  • D、扩散

正确答案:D

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