假设进行一次受固溶度限制的预淀积扩散,从掺杂玻璃源引入的杂质总剂量为Qcm-2。
第1题:
在扩散之前在硅表面先沉积一层杂质,在整个过程中这层杂质作为扩散的杂质源,不再有新的杂质补充,这种扩散方式称为:()
第2题:
二氧化硅在扩散时能对杂质起掩蔽作用进行()扩散。
第3题:
表示杂质在硅-二氧化硅界面处重新分布的性质和程度,习惯上常用()。
第4题:
在热扩散工艺中的预淀积步骤中,砷和锑的扩散温度为()。
第5题:
通常热扩散分为两个大步骤,其中第一个步骤是()。
第6题:
CVD淀积过程中两个主要的限制步骤是什么?它们分别在什么情况下会支配整个淀积速率?
第7题:
在热扩散工艺中的预淀积步骤中,硼在900~1050℃的条件下,扩散时间大约()为宜。
第8题:
γ-Fe中碳的固溶度为2.11%,α-Fe中碳的固溶度则是0.0218%,为什么γ-Fe中的溶入量要比α-Fe大?
第9题:
一般分析扩散系数,考虑两种条件,即恒定表面浓度条件和()。
第10题:
在半导体工艺中,如果淀积的薄膜不是连续的,存在一些空隙,则()。