单晶硅硅片的制造过程?

题目

单晶硅硅片的制造过程?

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相似问题和答案

第1题:

例举硅片制造厂房中的7种玷污源。


正确答案:硅片制造厂房中的七中沾污源:
(1)空气:净化级别标定了净化间的空气质量级别,它是由净化室空气中的颗粒尺寸和密度表征的;
(2)人:人是颗粒的产生者,人员持续不断的进出净化间,是净化间沾污的最大来源;
(3)厂房:为了是半导体制造在一个超洁净的环境中进行,有必要采用系统方法来控制净化间区域的输入和输出;
(4)水:需要大量高质量、超纯去离子水,城市用水含有大量的沾污以致不能用于硅片生产。去离子水是硅片生产中用得最多的化学品
(5)工艺用化学品:为了保证成功的器件成品率和性能,半导体工艺所用的液态化学品必须不含沾污;
(6)工艺气体:气体流经提纯器和气体过滤器以去除杂质和颗粒;
(7)生产设备:用来制造半导体硅片的生产设备是硅片生产中最大的颗粒来源。

第2题:

什么是硅化物?难熔金属硅化物在硅片制造业中重要的原因是什么?


正确答案:硅化物是难熔金属与硅反应形成的金属化合物,是一种具有热稳定性的金属化合物,并且在硅/难熔金属的分界面具有低的电阻率。
难熔金属硅化物的优点和其作用:
1、降低接触电阻
2、作为金属与有源层的粘合剂
3、高温稳定性好,抗电迁移性能好
4、可直接在多晶硅上淀积难熔金属,经加温处理形成硅化物,工艺与现有硅栅工艺兼容

第3题:

压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应而构成,采用单晶硅片为弹性元件。

此题为判断题(对,错)。


正确答案:√

第4题:

集成电路是指在一个半导体硅片上制造的电子电路。()


正确答案:正确

第5题:

压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效果而构成,采用()为弹性元件。

  • A、应变片
  • B、压电片
  • C、弹性元件
  • D、单晶硅片

正确答案:D

第6题:

将圆柱形的单晶硅锭制备成硅片需要哪些工艺流程?


正确答案:整形处理,切片,磨片和倒角,刻蚀,抛光,清洗,硅片评估,包装。

第7题:

沾污是指半导体制造过程中引入半导体硅片的任何危害微芯片()的不希望有的物质。

  • A、功能
  • B、成品率
  • C、物理性能
  • D、电学性能
  • E、外观

正确答案:B,D

第8题:

采用单晶硅的压阻式压力变送器采用单晶硅片为弹性元件,在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺,在单晶硅的特定方向扩散一组()电阻,并将电阻接成桥路。

  • A、不等值
  • B、等值
  • C、线性值
  • D、非线性值

正确答案:B

第9题:

压阻式压力传感器是利用单晶硅的电阻效应二构成,采用()为弹性元件

  • A、应变片
  • B、压电片
  • C、弹性元件
  • D、单晶硅片

正确答案:D

第10题:

绒面结构及作用;单晶硅片和多晶硅片表面制作绒面结构所用的腐蚀剂及提高绒面结构质量采用的措施。


正确答案: 绒面结构:<100>晶向的硅单晶,经腐蚀后表面会形成(在显微镜下看到)像“金字塔”形状高低不平的表面。作用:减少电池表面的光反射,大大提高对光的吸收率,最大限度提高光电转换效率。腐蚀剂:单晶硅使用NaOH水溶液或KOH水溶液;多晶硅使用HF混合液。
提高绒面结构质量采用的措施:
1.在NaOH水溶液中加入少量异丙醇。
2.用NaCO3(K2CO3)或磷酸钠液对单晶硅片进行结构处理。