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溅镀机抽不上真空怎样解决？

题目

溅镀机抽不上真空怎样解决？

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相似问题和答案

第1题：

溅镀机发生短路怎样做？


正确答案:溅镀机发生短路应清洁阴极和O型圈。

第2题：

溅镀机在运行当中，报警短路并不溅镀应立即做哪些工作？


正确答案:立即停机检查mask是否有银屑脱落，主仓是否清洁。

第3题：

#6机开机利用#5机#2真空泵抽真空的操作？


正确答案: 1） 检查关闭#5、6机凝汽器抽气联络管电动门、#5机侧手动门。
2） #5机切换#1真空泵运行，#2真空泵停泵备用。
3） #6机开机抽真空前，检查解除#5机#2真空泵联锁，关闭#5机#2真空泵空气管手动门。
4） 严密监视#5机真空变化，缓慢开启#5机#2真空泵抽#6机空气门，开启#6机侧凝汽器抽气联络管手动门。 5） #6机启动过程中，按操作票启动#5机#2真空泵抽#6机真空。
6） #6机启动过程中，汽轮机冲转前，凝汽器真空达到冲转条件时，启动#6机真空泵运行，停止#5机#2真空泵运行。
7） 关闭#6机侧凝汽器抽气联络管手动门，关闭#5机#2真空泵抽#6机空气门。
8） 开启#5机2真空泵空气管手动门，按规定投入#5机#2真空泵联动备用。

第4题：

如何清理溅镀机？


正确答案:将溅镀机打到OFF状态，卸下MASK和靶材，将绝缘套用小刀清洁干净，再用酒精清洁PA、SA与主仓接触部位，最后安装好靶材和MASK，用吸尘器吸干净即可。

第5题：

成品片有溅镀针孔是如何产生的？如何解决？


正确答案:溅镀腔内有碎屑，挡住了溅镀的金属层，溅镀完后碎屑脱落，形成针孔；清洁溅镀腔。

第6题：

8.0溅镀机触摸屏没溅镀界面不能进入，为什么？


正确答案:如果从溅镀机触摸屏的原文件也不能进入，说明文件丢失。就要重新安装程序。用U盘接入电脑的USB接口处，开启电脑，电脑会自动复制文件，并初始化进入溅镀界面，完毕后拔下U盘，可以准备开机。

第7题：

溅镀机抽不上真空有几种可能？


正确答案: （1）检查气管是否有漏气；
（2）清理PA、SA与主仓接触部位；
（3）检查真空泵油位情况；
（4）关闭程序，关闭电源，重新开机。

第8题：

怎样校正溅镀机PA？


正确答案: 当溅镀机PA取片不好或发现盘片在PA处有划伤时，就要校正PA。
（1）将溅镀机与传送梁连接的螺栓松开，SA升起，PA在0°或180°位置UP位置，关掉压缩空气，加上校正工具，检查PA在传送梁上的位置是否正确。如果不正确，用手锤轻轻撞动溅镀机达到位置，然后紧固。
（2）拆下校正工具，给上压缩空气，手动吸真空，但取片是否正常，如果PA过高、过低时，关掉真空泵、压缩空气，松开螺栓，将溅镀机地脚升起或落下。
（3）重复1、2步骤，直到PA在传送梁上取片正常，PA位置正确位置。

第9题：

当溅镀机报警阴极短路时，操作员应如何处理？


正确答案:将溅镀机泄真空，将靶材取出，清洁阴极更换大、小mask。

第10题：

溅镀机不抽真空怎么办？


正确答案:先清洁溅镀仓，再手动抽预抽泵和分子泵，看能否达到。如能达到即可。

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