简述SiO2在集成电路中的用途。

题目
问答题
简述SiO2在集成电路中的用途。
参考答案和解析
正确答案: ①栅氧层:做MOS结构的电介质层(热生长)
②场氧层:限制带电载流子的场区隔离(热生长或沉积)
③保护层:保护器件以免划伤和离子沾污(热生长)
④注入阻挡层:局部离子注入掺杂时,阻挡注入掺杂(热生长)
⑤垫氧层:减小氮化硅与硅之间应力(热生长)
⑥注入缓冲层:减小离子注入损伤及沟道效应(热生长)
⑦层间介质:用于导电金属之间的绝缘(沉积)
解析: 暂无解析
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第1题:

简述RTP在集成电路制造中的常见应用。


正确答案: 1)杂质的快速热激活RTP工艺最具吸引力的的热点之一是晶圆片不用达到热平衡状态,意味着电活性的有效掺杂实际上可以超过固溶度限制。例如,对砷进行数毫秒的退火,它的激活浓度可达到3×1021左右,大约是其固溶度的10倍。因为,在短时间的退火过程中,砷原子没有足够的时间来形成聚团并凝聚成无活性的缺陷。
2)介质的快速热加工快速热氧化(RTO)可以在合适的高温下通过精确控制的气氛来实现短时间生长薄氧层。(干氧方法)RTO生长的氧化层具有很好的击穿特性,电性能上坚固耐用。由于不均匀温度分布产生的晶圆片内的热塑应力影响了RTO的均匀性。若适当冷却反应腔壁,可以用作冷壁工艺,防止腔壁污染后续工艺。3)硅化物和接触的形成快速热处理也经常被用于形成金属硅化物接触,其可以仔细控制硅化反应的温度和环境气氛,以尽量减少杂污染,并促使硅化物的化学配比和物相达到最理想的状态。形成阻挡层金属也是RTP在Si技术中的一个应用,这些导电的阻挡层金属可以阻止硅衬底和用于器件互联的Al基合金之间的互扩散。另外RTP还可以在GaAs工艺中用于接触的形成,淀积一层金锗混合物并进行热退火,可以在N型GaAs材料上形成低阻的欧姆接触。

第2题:

在大规模集成电路的制造中,更多采用的是MOS工艺集成电路,而不是双极型集成电路。


正确答案:正确

第3题:

下列关于集成电路的叙述错误的是()。

A、将大量晶体管、电阻及互连线等制作在尺寸很小的半导体单晶片上就构成集成电路。

B、现代集成电路使用的半导体材料通常是硅或砷化镓。

C、集成电路根据它所包含的晶体管数目可分为小规模、中规模、大规模、超大规模和极大规模集成电路。

D、集成电路按用途可分为通用和专用两大类。微处理器和存储器芯片都属于专用集成电路。


参考答案:D

第4题:

简述Flash存储器在嵌入式系统中的用途。


正确答案:Flash memory(闪速存储器)是嵌入式系统中重要的组成部分,用来存储程序和数据,掉电后数据不会丢失。但在使用Flash Memory时,必须根据其自身特性,对存储系统进行特殊设计,以保证系统的性能达到最优。

第5题:

在普通玻璃仪器中,含量较高的是()。

  • A、SiO2和Na2O
  • B、SiO2和Al2O3
  • C、SiO2和B2O3
  • D、SiO2和ZnO

正确答案:A

第6题:

简述杂质在SiO2的存在形式及如何调节SiO2的物理性质。


正确答案: 热氧化层中可能存在各种杂质,某些最常见的杂质是与水有关的化合物,其结构如图所示。如果氧化层在生长中有水存在,一种可能发生的反应是一个氧桥还原为两个氢氧基。Si:O:Si→Si:O:H+H:O:Si网络构成者——一些杂质会被有意掺入热淀积SiO2中,用来改善它的物理性质和电学特性,例如硼、磷,称为网络构成者,它们可以调节有氧桥和无氧桥的比例,使得SiO2的强度上升或者下降。当B替代Si之后,顶角上的四个O只有三个O可以同B形成共价键,剩余的一个O因无法与中心的B形成共价键,而变成了非桥键O,因此SiO2网络中非桥键O增加,强度下降。当P替代Si之后,与原有的四个O形成共价键,还多余一个价电子,这个多余的价电子还可以与近邻的一个非桥键O形成桥键O,因此SiO2网络强度增加。网络改变者——存在于SiO2网络间隙的杂质为网络改变者。一般以离子形式存在,离子半径较大,替代硅的可能性很小。例如Na、K、Pb、Ba等都是网络改变者。网络改变者往往以氧化物形式进入SiO2中。进入网络之后便离化,并把氧离子交给SiO2网络。Na2O+ΞSi-O-SiΞ→Si–O-+Osup>—+网络中氧的增加,使非桥键氧的浓度增大,SiO2网络的强度减弱。

第7题:

集成电路按用途可分为通用和专用两类,PC机中的存储器芯片属于专用集成电路。


正确答案:错误

第8题:

可以从不同角度给集成电路分类,按照集成电路的( )可将其分为通用集成电路和专用集成电路两类。

A、晶体管数目

B、晶体管结构和电路

C、工艺

D、用途


正确答案:D

第9题:

简述甲醇在工业中的用途。


正确答案: 甲醇用途广泛,是基础的有机化工原料和优质燃料。主要用于精细化工塑料等领域,用来制造甲醇,醋酸,氯甲烷,甲氨,硫酸二甲脂等多种有机产品,也是农药,医药的重要原料之一。甲醇在深加工后可作为一种新型清洁燃料,也可加入汽油掺烧。

第10题:

集成电路按用途可以分为通用型与专用型,存储器芯片属于专用集成电路。


正确答案:错误

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