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离子束的加工方式？

题目
问答题
离子束的加工方式？
参考答案和解析
正确答案： 1、离子刻蚀
2、离子溅射沉积
3、离子镀（又称离子溅射辅助沉积）
4、离子注入
解析： 暂无解析
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第1题：

激光加工与离子束加工要求有真空装置。


正确答案:错误

第2题：

离子束加工原理


正确答案: 离子源产生的离子经过电场加速和聚焦，获得一定速度投射到材料表面，产生溅射效应或注入效应。对于工件的不同要求，离子束加工可分为以下四类：A.离子刻蚀；B.离子溅射沉积；C.离子镀；D.离子注入。

第3题：

离子束加工技术(名词解释)


参考答案：离子束加工进行中，离子束溅射到材料表面时会发生撞击效应、溅射效应和注入效应。其中，当具有一定动能的离子束斜射到材料表面撞击出原子时，发生的是撞击效应和溅射效应;当离子能量足够大并垂直于工件表面撞击，离子钻入工件表面层，发生的是注入效应。

第4题：

问答题
离子束加工的四种工作方式

正确答案： 1、离子束溅射去除加工，即将被加速的离子聚焦成细束，射到被加工表面上。被加工表面受“轰击”后，打出原子或分子，实现分子级去除加工。
2、离子束溅射镀膜加工，即用加速的离子从靶材上打出原子或分子，并将这些原子或分子附着到工件上，形成“镀膜”。又被称为“干式镀”
3、离子束溅射注入加工，即用高能离子（数十万KeV）轰击工件表面，离子打入工件表层，其电荷被中和，并留在工件中（置换原子或填隙原子），从而改变工件材料和性质。
4、离子束曝光，即用在大规模集成电路制作中，与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。
解析： 暂无解析

第5题：

离子束加工的物理基础是离子束投射到工件表面时所产生的（）、（）和（）。


正确答案:撞击效应；溅射效应；注入效应

第6题：

下列不属于离子束加工技术的是（）。

  • A、离子束刻蚀
  • B、离子束焊接
  • C、离子注入技术
  • D、离子束镀膜技术

正确答案:B

第7题：

离子束加工装置与电子束加工装置类似，不同的是用（）取代了（）。


正确答案:离子源；电子枪

第8题：

离子束加工包括( )。

A.离子束溅射去除加工

B.离子束溅射镀膜

C.离子束溅射注入

D.离子束焊接


参考答案：ABC

第9题：

电子束加工与离子束加工都必须在真空条件下进行加工。


正确答案:正确

第10题：

问答题
离子束加工应用有哪些方面？

正确答案： 利用离子撞击和溅射效应的离子束刻蚀、离子溅射镀膜和离子镀，利用离子注入效应的离子注入。
解析： 暂无解析

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