离子束加工为什么能实现纳米级加工?

题目
问答题
离子束加工为什么能实现纳米级加工?
参考答案和解析
正确答案: 离子束可以通过离子光学系统进行聚焦扫描,共聚焦光班可达1μm以内,因而可以精确控制尺寸范围。离子束轰击材料是逐层去除原子,所以离子刻蚀可以达到毫微米(0.001μm)级的加工精度。离子镀膜可以控制在亚微米级的精度,离子注入的深度和溶度也可以精确地控制。
解析: 暂无解析
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第1题:

离子束加工包括( )。

A.离子束溅射去除加工

B.离子束溅射镀膜

C.离子束溅射注入

D.离子束焊接


参考答案:ABC

第2题:

下列特种加工方法中,可以进行非接触远距离加工是()。

  • A、电火花加工
  • B、电解加工
  • C、激光加工
  • D、超声加工
  • E、水射流加工
  • F、电子束加工
  • G、离子束加工

正确答案:C

第3题:

离子束加工技术(名词解释)


参考答案:离子束加工进行中,离子束溅射到材料表面时会发生撞击效应、溅射效应和注入效应。其中,当具有一定动能的离子束斜射到材料表面撞击出原子时,发生的是撞击效应和溅射效应;当离子能量足够大并垂直于工件表面撞击,离子钻入工件表面层,发生的是注入效应。

第4题:

下列特种加工方法中,不能加工陶瓷、玻璃、宝石等的是()

  • A、电火花加工
  • B、电解加工
  • C、激光加工
  • D、超声加工
  • E、水射流加工
  • F、电子束加工
  • G、离子束加工

正确答案:A,B

第5题:

离子束加工原理


正确答案: 离子源产生的离子经过电场加速和聚焦,获得一定速度投射到材料表面,产生溅射效应或注入效应。对于工件的不同要求,离子束加工可分为以下四类:A.离子刻蚀;B.离子溅射沉积;C.离子镀;D.离子注入。

第6题:

激光加工与离子束加工要求有真空装置。


正确答案:错误

第7题:

()需要使用工具,并能将工具型面的形状“复印”到工件上。

  • A、离子束加工
  • B、电火花加工
  • C、电解加工
  • D、激光加工

正确答案:B,C

第8题:

纳米加工技术的加工精度要求在纳米级,主要指纳米级尺寸精度、纳米级几何形状精度二个方面。()

此题为判断题(对,错)。


答案:是

第9题:

离子束加工的物理基础是离子束投射到工件表面时所产生的()、()和()。


正确答案:撞击效应;溅射效应;注入效应

第10题:

电子束加工与离子束加工都必须在真空条件下进行加工。


正确答案:正确