第1题：
离子注入层的深度主要取决于离子注入的（）。
第2题：
什么叫离子注入，它的特点是什么？
叫离子注入。其特点是深度浅，而在使用中，注入元素仍能继续向里迁移。由于注
入时工件温度低，故不改变基体性能及表面粗糙度。注入时，注入能量及注入深度
能准确控制，注入层结合力强，无剥落现象。
叫离子注入。其特点是深度浅，而在使用中，注入元素仍能继续向里迁移。由于注
入时工件温度低，故不改变基体性能及表面粗糙度。注入时，注入能量及注入深度
能准确控制，注入层结合力强，无剥落现象。
第3题：
离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的（）。
第4题：
电活性
晶格损伤
横向效应
沟道效应
第5题：
第6题：
离子注入
第7题：
对沟道效应，沿着主晶轴方向入射时，角分布半宽度的典型值为多少。
第8题：
什么是离子注入中常发生的沟道效应（Channeling）和临界角？怎样避免沟道效应？
第9题：
第10题：